本实验包含碳化硅粉末安装、参数设置、碳化硅籽晶生长、实验完成后处理等操作过程，真实还原了物理气相沉积仪、坩埚、硅片等三维模型。使用户可以通过本实验了解物理气相传输法生长碳化硅晶体的原理及工艺，分析影响晶体生长的参数。
