实验
硅各向异性刻蚀虚拟实验
学时 2
实验介绍 实验指南 实验资料 实验台

本实验包含刻蚀液配制、刻蚀槽中刻蚀、溢流冲洗等操作过程。用户通过实际操作模拟真实的实验场景与操作流程,使用户可以通过本实验更加深入地了解硅各向异性刻蚀的原理,掌握硅各向异性刻蚀的操作方法。

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