本实验包含硅片入炉、程序参数设定、加热过程、查看结果等操作过程。用户通过实际操作模拟真实的实验场景与操作流程,使用户可以通过具体的硼预扩散工艺操作熟悉硼预扩散工艺步骤、了解扩散设备的使用,进一步掌握和巩固两步法硼扩散工艺的原理和相关知识。