实验
硼预扩散虚拟实验
学时 2
实验介绍 实验指南 实验资料 实验台

本实验包含硅片入炉、程序参数设定、加热过程、查看结果等操作过程。用户通过实际操作模拟真实的实验场景与操作流程,使用户可以通过具体的硼预扩散工艺操作熟悉硼预扩散工艺步骤、了解扩散设备的使用,进一步掌握和巩固两步法硼扩散工艺的原理和相关知识。

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