本实验包含硅片入炉、程序参数设定、加热过程、查看结果等操作过程。用户通过实际操作模拟真实的实验场景与操作流程，使用户可以通过具体的磷预扩散工艺操作熟悉磷预扩散工艺步骤、了解扩散设备的使用，进一步掌握扩散制备半导体p-n结的方法。
