实验
氧化硅薄膜制备虚拟仿真实验
学时 2
实验介绍 实验指南 实验资料 实验台

本实验包含硅片入炉、程序参数设定、加热过程、查看结果等操作过程。使用户可以通过本实验了解热氧化法制备二氧化硅薄膜的基本原理，掌握热氧化法制备二氧化硅薄膜的基本方法。

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