实验
局部场氧化虚拟实验
学时 1
实验介绍 实验指南 实验资料 实验台

本实验包含硅片入炉、程序参数设定、加热过程、查看结果等操作过程。用户通过实际操作模拟真实的实验场景与操作流程，使用户可以通过本实验进一步掌握和巩固局部场氧化的原理和相关知识。

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