金属铝在半导体工艺中是主要的金属导线材料,在完成铝镀膜工艺后,需要将导线区域以外多余的铝材料刻蚀以形成有效的电路结构。本虚拟实验演示出铝刻蚀反应的过程,演示铝刻蚀的原理与现象,加深用户对于实验中涉及反应的理解。