实验
沟道效应虚拟实验
学时 1
实验介绍 实验指南 实验资料 实验台

金属铝在半导体工艺中是主要的金属导线材料,在完成铝镀膜工艺后,需要将导线区域以外多余的铝材料刻蚀以形成有效的电路结构。本虚拟实验演示出铝刻蚀反应的过程,演示铝刻蚀的原理与现象,加深用户对于实验中涉及反应的理解。

您还没有登录,请先登录
您还没有登录,请先登录
您还没有登录,请先登录