光电材料三维虚拟实验教学系统主要包括区熔法单晶生长工艺虚拟仿真实验、物理气相沉积晶体生长工艺虚拟仿真实验、氧化硅薄膜制备虚拟仿真实验、扩散反应原理演示虚拟实验、有机物清洗原理演示虚拟实验、氧化反应原理演示虚拟实验、氮化硅反应原理演示虚拟实验、硅各向同性刻蚀原理虚拟实验、硅各向异性刻蚀原理虚拟实验、金属离子清洗原理演示虚拟实验、铝刻蚀原理演示虚拟实验、硼再扩散